特種氣體系統工程技術規範——術語

一、總 則

1、為了在電子工廠特種氣體系統工程設計和施工中正確貫徹國家法律、法規，確保安全可靠，保護環境，滿足電子產品生產要求，保護人身和財產安全，做到安全適用、技術先進，經濟合理。制定本規範。

2、本規範適用於新建、擴建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統工程的設計和施工。

3、本規範不適用特種氣體的製取、提純、灌裝系統的設計和施工。

4、特種氣體系統的設計和施工除應符合本規範的規定外，應符合國家現行有關標準的規定。

二、術 語

1、特種氣體 specialily gas

用於各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

2、特種氣體系統 speciality gas system

特種氣體系統是指在用戶現場的特種氣體的儲存、輸送與分配全過程的設備、管道和部件的總稱。

3、特種氣體間 speciality gas room

是指在電子生產廠房放置特種氣瓶櫃、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設備，並通過管道向用氣設備輸送特種氣體的房間。

4、硅烷站 silane station

是指放置硅烷儲存設備(氣瓶、氣瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖車或ISO標準儲罐)、硅烷氣化裝置及尾氣處理裝置、電氣裝置等，並通過管道向用氣生產廠房供應硅烷氣體的獨立建構築物或區域。

5、明火地點 open flame site

室內外有外露的火焰或赤熱表面的固定地點。

6、散發火花地點 sparking site

散發火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點。

7、空瓶 empty cylinder

留有殘餘壓力的氣體鋼瓶。

8、實瓶 full cylinder

存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶，特種氣體氣瓶一般水容積為40L、47、48L等各種容積。

9、氣瓶集裝格 the bundle of gas cylinders

用專用金屬框架固定，採用集氣管將多隻氣體鋼瓶介面並聯組合的氣體鋼瓶組單元。氣瓶的個數分別為9個、12個、16個不等，單個氣瓶的水容積通常為40~50L。

10、氣瓶櫃 gas cabinet (GC)

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、真空發生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶櫃有手動、半自動、全自動三類。

11、氣瓶架 gas rack (GR)

特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監測及報警等安全設施。氣瓶架有手動、半自動、全自動三類。

12、閥門箱 valve manifold box (VMB)

特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配部件，VMB在氣體入口配置氣動閥、手動閥，各支管可配置手動閥、壓力表、過濾器等組件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽壓力氣體外，VMB各支管可根據需要設置調壓閥。VMB需設置泄漏氣體排氣管介面和風壓事故報警。

13、閥門盤 valve manifold panel (VMP)

特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配部件，VMP在氣體入口配置氣動閥、手動閥，各支管應配置手動閥、壓力表、過濾器等組件，VMP各支管可根據需要設置調壓閥。

14、低蒸汽壓力氣體 low vapor pressure gas

在室溫下的飽和蒸氣壓小於0.2MPa的氣體。

15、尾氣處理裝置 local scrubber

用於處理易燃、易爆、有毒、有腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的裝置，處理后的尾氣達到規定排放濃度，並排入用氣車間的排氣管道。

16、氣體探測系統 gas detector system(GDS)

設置在特種氣瓶櫃、氣瓶架、閥門箱、閥門盤、及其它特種氣體輸送設備與管道所覆蓋區域，通過檢測本質氣體或關聯氣體在空氣中的含量來判斷本質氣體的泄漏，從而發出聲光報警信號、提供應急處理數據的系統。

17、氣體管理系統 gas management system(GMS)

包含特種氣體探測系統、應急處理系統、工作管理系統、監視系統、數據輸送與處理系統的氣體管理與控制系統的統稱。

18、最高允許濃度值 threshold limit value(TLV)

工作環境空氣中有害物質的最高允許濃度值。

19、爆炸濃度下限值 low explosion limit(LEL)

可燃氣體在空氣或氧化氣體中發生爆炸的濃度下限值。

20、卧式氣瓶 y-cylinder/t-cylinder

用於儲存較多特種氣體的氣瓶。一般水容積為500L，1000L。

21、自燃氣體 pyrophoric gas

在空氣中會發生自動燃燒的氣體。

22、可燃氣體 flammable gas

指與空氣(或氧氣)能夠形成一定濃度的混合氣態，並遇到火源會發生燃燒或爆炸的氣體。

23、毒性氣體 toxic gas

LC50超過200ppm但不超過2000ppm的氣體。

24、腐蝕性氣體 corrosive gas

是指在一定條件下，對材料或人體組織接觸產生化學反應引起可見破壞或不可逆反應的氣體。

25、氧化性氣體 oxygenize gas

是指在一定條件下，與材料接觸會產生較為劇烈的失去電子的化學反應的氣體。

26、惰性氣體 inert gas

在一般情況下與其它物質不會產生化學反應的氣體。

27、限流孔板 restrict flow orifice(RFO)

限定系統最大流量的一種裝置。

28、過流開關 excess flow switch(EFS)

流量超出設定值時，給出開關信號。

29、AP管 annealed and pickled pipe

經過酸洗或鈍化、去除表面殘存顆粒的鈍化無縫不鏽鋼管。

30、BA管 bright annealing pipe

經加氫或真空狀態高溫熱處理，消除內部應力並在管道表面形成一層鈍化膜的光亮無縫不鏽鋼管。

31、EP管 electro-polished pipe

經電化學拋光，使表層實際面積得到最大程度的減少,表面產生一層較厚的封閉的氧化鉻膜的電化學拋光無縫不鏽鋼管。

32 、吹掃 purge

用氮氣和氬氣對特種氣體系統內的其它氣體進行置換的過程。

33、排氣 vent

特種氣體設備與系統中排出的本質氣體。

34、數據採集與監視控制系統 supervisory control and dataacquisition(SCADA)

是以計算機為基礎的生產過程式控制制與調度自動化系統。它可以對現場的運行設備進行監視和控制，以實現數據採集、設備控制、測量、參數調節以及各類信號報警等各項功能。

35、工廠設備管理控制系統 facility management control system(FMCS)

用於管理工廠動力設備的管理控制系統，一般只具有監視功能，不具有控制功能。

36、大宗硅烷系統 bulk silane system

是指容器水容積超過250L的硅烷系統，包括鋼瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖車(T/T)、ISO標準儲罐，以及數量超過7個的獨立小鋼瓶系統。

37、氣體面板 gas panel

集成切斷閥門、調壓閥、過濾器、壓力計等零部件並安裝在氣瓶櫃內的專用設施。

38、開敞式建築 open area

立柱和牆面遮擋部分小於周長的25%的建築。

39、內向檢漏 inboard he leak test

又稱噴氦法測試. 採用內部抽真空，外部噴氦氣的方法，測試管路系統的泄漏率。

40、閥座檢漏 cross seat he leak test

採用閥門上游充氦氣，下游抽真空，檢測泄漏率的方法。

41、外向檢漏 outboard he leak test

又稱吸槍法測試，採用管路內部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查漏點泄漏率的方法。

42、不相容性 incompatible

不同氣體混合后即發生化學反應，釋放出能量並對環境產生危害作用的特性。

43、ISO標準儲罐 ISO module

按國際標準組織(ISO)要求，允許安裝在架子上的多個水容積不超過1218L的儲罐或長管氣瓶的總稱。

44、大宗特氣輸送系統

應用：1)集束鋼瓶(容積小於50L鋼瓶數量超過12個以上);2)Y型鋼瓶;3)T型鋼瓶;4)長管拖車;5)ISO槽罐等進行特種氣體儲存和送氣作業的系統。

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