氣體感測器原理
氣體感測器原理；分析氣體感測器選擇及其分類；氣體感測器是氣體檢測系統的核心，通常安裝在探測頭；氣體的採樣方法直接影響感測器的響應時間；根據測量對象與測量環境確定感測器的類型；穩定性：感測器在整個工作時間內基本響應的穩定性，；響應特性（反應時間）：感測器的頻率響應特性決定了；線性範圍：感測器的線性範圍是指輸出與輸入成正比的；靈敏度的選擇通常在感測器的線性範圍內
氣體感測器原理
分析氣體感測器選擇及其分類
氣體感測器是氣體檢測系統的核心，通常安裝在探測頭內。從本質上講，氣體感測器是一種將某種氣體體積分數轉化成對應電信號的轉換器。探測頭通過氣體感測器對氣體樣品進行調理，通常包括濾除雜質和干擾氣體、乾燥或製冷處理、樣品抽吸，甚至對樣品進行化學處理，以便化學感測器進行更快速的測量。
氣體的採樣方法直接影響感測器的響應時間。目前，氣體的採樣方式主要是通過簡單擴散法，或是將氣體吸入檢測器。（簡單擴散是利用氣體自然向四處傳播的特性。目標氣體穿過探頭內的感測器，產生一個正比於氣體體積分數的信號。由於擴散過程漸趨減慢，所以擴散法需要探頭的位置非常接近於測量點。擴散法的一個優點是將氣體樣本直接引入感測器而無需物理和化學變換。樣品吸入式探頭通常用於採樣位置接近處理儀器或排氣管道。這種技術可以為感測器提供一種速度可控的穩定氣流，所以在氣流大小和流速經常變化的情況下，這種方法較值得推薦。將測量點的氣體樣本引到測量探頭可能經過一段距離，距離的長短主要是根據感測器的設計，但採樣線較長會加大測量滯后時間，該時間是採樣線長度和氣體從泄漏點到感測器之間流動速度的函數。對於某種目標氣體和汽化物，如SiH4以及大多數生物溶劑，氣體和汽化物樣品量可能會因為其吸附作用甚至凝結在採樣管壁上而減少。）
根據測量對象與測量環境確定感測器的類型。 要進行—個具體的測量工作，首先要考慮採用何種原理的感測器，這需要分析多方面的因素之後才能確定。因為，即使是測量同一物理量，也有多種原理的感測器可供選用，哪一種原理的感測器更為合適，則需要根據被測量的特點和感測器的使用條件考慮以下一些具體問題：量程的大小；被測位置對感測器體積的要求；測量方式為接觸式還是非接觸式；信號的引出方法，有線或是非接觸測量；感測器的來源，國產還是進口，價格能否承受，還是自行研製。在考慮上述問題之後就能確定選用何種類型的感測器，然後再考慮感測器的具體性能指標。
穩定性：感測器在整個工作時間內基本響應的穩定性，取決於零點漂移和區間漂移。零點漂移是指在沒有目標氣體時，整個工作時間內感測器輸出響應的變化。區間漂移是指感測器連續置於目標氣體中的輸出響應變化，表現為感測器輸出信號在工作時間內的降低。理想情況下，一個感測器在連續工作條件下，每年零點漂移小於10%。
響應特性 （反應時間）：感測器的頻率響應特性決定了被測量的頻率範圍，必須在允許頻率範圍內保持不失真的測量條件，實際上感測器的響應總有—定延遲，希望延遲時間越短越好。感測器的頻率響應高，可測的信號頻率範圍就寬，而由於受到結構特性的影響，機械系統的慣性較大，因而頻率低的感測器可測信號的頻率較低。在動態測量中，應根據信號的特點 (穩態、瞬態、隨機等)響應特性，以免產生過大的誤差。
線性範圍：感測器的線性範圍是指輸出與輸入成正比的範圍。以理論上講，在此範圍內，靈敏度保持定值。感測器的線性範圍越寬，則其量程越大，並且能保證一定的測量精度。在選擇感測器時，當感測器的種類確定以後首先要看其量程是否滿足要求。但實際上，任何感測器都不能保證絕對的線性，其線性度也是相對的。當所要求測量精度比較低時，在一定的範圍內，可將非線性誤差較小的感測器近似看作線性的，這會給測量帶來極大的方便。
靈敏度的選擇通常在感測器的線性範圍內，希望感測器的靈敏度越高越好。因為只有靈敏度高時，與被測量變化對應的輸出信號的值才比較大，有利於信號處理。但要注意的是，感測器的靈敏度高，與被測量無關的外界雜訊也容易混入，也會被放大系統放大，影響測量精度。因此，要求感測器本身應具有較高的信噪比，盡量減少從外界引入的於擾信號。感測器的靈敏度是有方向性的。當被測量是單向量，而且對其方向性要求較高，則應選擇其它方向靈敏度小的感測器；如果被測量是多維向量，則要求感測器的交叉靈敏度越小越好。
氣體感測器是化學感測器的一大門類，從工作原理、特性分析到測量技術，從所用材料到製造工藝，從檢測對象到應用領域，都可以構成獨立的分類標準，衍生出一個個紛繁龐雜的分類體系，尤其在分類標準的問題上目前還沒有統一，要對其進行嚴格的系統分類難度頗大。
通常以氣敏特性來分類，主要可分為：半導體型氣體感測器、電化學型氣體感測器、固體電解質氣體感測器、接觸燃燒式氣體感測器、光化學型氣體感測器、高分子氣體感測器等。
半導體氣體感測器
半導體氣體感測器是採用金屬氧化物或金屬半導體氧化物材料做成的元件，與氣體相互作用時產生表面吸附或反應，引起以載流子運動為特徵的電導率或伏安特性或表面電位變化。這些都是由材料的半導體性質決定的。
自從1962年半導體金屬氧化物陶瓷氣體感測器問世以來，半導體氣體感測器已經成為當前應用最普遍、最具有實用價值的一類氣體感測器，根據其氣敏機制可以分為電阻式和非電阻式兩種。
電阻式半導體氣體感測器主要是指半導體金屬氧化物陶瓷氣體感測器，是一種用金屬氧化物薄膜(例如：Sn02，ZnO Fe203，Ti02等)製成的阻抗器件，其電阻隨著氣體含量不同而變化。氣味分子在薄膜表面進行還原反應以引起感測器傳導率的變化。為了消除氣味分子還必須發生一次氧化反應。感測器內的加熱器有助於氧化反應進程。它具有成本低廉、製造簡單、靈敏度高、響應速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優點。不足之處是必須工作於高溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數分散、穩定性不夠理想、功率要求高.當探測氣體中混有硫化物時，容易中毒。現在除了傳統的SnO，Sn02和Fe203三大類外，又研究開發了一批新型材料，包括單一金屬氧化物材料、複合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料。這些新型材料的研究和開發，大大提高了氣體感測器的特性和應用範圍。另外，通過在半導體內添加Pt，Pd，Ir等貴金屬能有效地提高元件的靈敏度和響應時間。它能降低被測氣體的化學吸附的活化能，因而可以提高其靈敏度和加快反應速度。催化劑不同，導致有利於不同的吸附試樣，從而具有選擇性。例如各種貴金屬對Sn02基半導體氣敏材料摻雜，Pt，Pd，Au提高對CH4的靈敏度，Ir降低對CH4的靈敏度；Pt，Au提高對H2的靈敏度，而Pd降低對H2的靈敏度。利用薄膜技術、超粒子薄膜技術製造的金屬氧化物氣體感測器具有靈敏度高(可達10-9級)、一致性好、小型化、易集成等特點。 非電阻式半導體氣體感測器是MOS二極體式和結型二極體式以及場效應管式(MOSFET)半導體氣體感測器。其電流或電壓隨著氣體含量而變化，主要檢測氫和硅燒氣等可燃性氣體。其中，MOSFET氣體感測器工作原理是揮發性有機化合物(VOC)與催化金屬(如鈕)接觸發生反應，反應產物擴散到MOSFET的柵極，改變了器件的性能。通過分析器件性能的變化而識別VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚可優化靈敏度和選擇性，並可改變工作溫度。MOSFET氣體感測器靈敏度高，但製作工藝比較複雜，成本高。
電化學型氣體感測器
電化學型氣體感測器可分為原電池式、可控電位電解式、電量式和離子電極式四種類型。原電池式氣體感測器通過檢測電流來檢測氣體的體積分數，市售的檢測缺氧的儀器幾乎都配有這種感測器，近年來，又開發了檢測酸性氣體和毒性氣體的原電池式感測器。可控電位電解式感測器是通過測量電解時流過的電流來檢測氣體的體積分數，和原電池式不同的是，需要由外界施加特定電壓，除了能檢測CO，NO，N02，02，S02等氣體外，還能檢測血液中的氧體積分數。電量式氣體感測器是通過被測氣體與電解質反應產生的電流來檢測
氣體的體積分數。離子電極式氣體感測器出現得較早，通過測量離子極化電流來檢測氣體的體積分數已電化學式氣體感測器主要的優點是檢測氣體的靈敏度高、選擇性好。 固體電解質氣體感測器
固體電解質氣體感測器是一種以離子導體為電解質的化學電池。20世紀70年代開始，固體電解質氣體感測器由於電導率高、靈敏度和選擇性好，獲得了迅速的發展，現在幾乎應用於環保、節能、礦業、汽車工業等各個領域，其產量大、應用廣，僅次於金屬氧化物半導體氣體感測器。近來國外有些學者把固體電解質氣體感測器分為下列三類：
1)材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質中的移動離子相同的感測器，例如氧氣感測器等。
2)材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質中的移動離子不相同的感測器，例如用於測量氧氣的由固體電解質SrF2H和Pt電極組成的氣體感測器。
3)材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質中的移動離子以及材料中的固定離子都不相同的感測器，例如新開發高質量的C02固體電解質氣體感測器是由固體電解質
NASICON(Na3Zr2Si2P012)和輔助電極材料Na2CO3-BaC03或Li2C03-CaC03，Li2C03- BaC03組成的。
目前新近開發的高質量固體電解質感測器絕大多數屬於第三類。又如：用於測量N02的由固體電解質NaSiCON和輔助電極N02- Li2C03製成的感測器；用於測量H2S的由固體電解質YST-Au-W03製成的感測器；用於測量NH3的由固體電解質NH4-Ca203製成的感測器；用於測量N02的由固體電解質Ag0.4Na7.6和電極Ag-Au製成的感測器等。
接觸燃燒式氣體感測器
接觸燃燒式氣體感測器可分為直接接觸燃燒式和催化接觸燃燒式，其工作原理是氣敏材料(如Pt電熱絲等)在通電狀態下，可燃性氣體氧化燃燒或者在催化劑作用下氧化燃燒，電熱絲由於燃燒而生溫，從而使其電阻值發生變化。這種感測器對不燃燒氣體不敏感，例如在鉛絲上塗敷活性催化劑Rh和Pd等製成的感測器，具有廣譜特性，即能檢測各種可燃氣體。這種感測器有時稱之為熱導性感測器，普遍適用於石油化工廠、造船廠、礦井隧道和浴室廚房的可燃性氣體的監測和報警。該感測器在環境溫度下非常穩定，並能對處於爆炸下限的絕大多數可燃性氣體進行檢測。
氣體感測器的研究進展
隨著人們生活水平的提高和對環保的日益重視，對各種有毒、有害氣體的探測，對大氣污染、工業廢氣的監控以及對食品和人居環境質量的檢測都提出了更高的要求，作為感官或信號輸入部分之一的氣體感測器是必不可少的。氣體感測器能夠實時對各種氣體進行檢測和分析，具有靈敏度高，響應時間短等優點；加上微電子、微加工技術和自動化、智能化技術的迅速發展，使得氣體感測器體積變小、價格低廉、使用方便，因此它在軍事、醫學、交通、環保、質檢、防偽、家居等領域得到了廣泛的應用。但目前市售的氣體感測器仍然存在一些問題，如選擇性和穩定性較差等。氣體感測器各項性能指標的進一步提高、新的氣敏材料和新型氣體感測器的開發正日益受到重視，世界各國紛紛投巨資進行這一領域的研究。
氣體感測器的種類很多，分類標準不一，根據感測器的氣敏材料以及氣敏材料與氣體相互作用的機理和效應不同主要可分為半導體氣體感測器、固體電解質氣體感測器、接觸燃燒式氣體感測器、光學式氣體感測器、石英振子式氣體感測器、表面聲波氣體感測器等形式。
1 半導體氣體感測器
半導體氣體感測器分為金屬氧化物半導體氣體感測器和有機半導體氣體感測器。
1.1金屬氧化物半導體氣體感測器
自上世紀60年代以來，金屬氧化物半導體氣體感測器就以較高的靈敏度、響應迅速等優點佔據氣體感測器的半壁江山。最初的氣體感測器主要採用SnO2、ZnO為氣敏材料，近些年又研究開發了一些新型材料，除了少量單一金屬氧化物材料，如WO3、In2O3、TiO2、Al2O3等外，開發的熱點主要集中在複合金屬氧化物和混合物金屬氧化物，如表1所示。金屬氧化物半導體感測器又可分為電阻式和非電阻式兩種。
1.1.1電阻式金屬氧化物半導體感測器
SnO2、ZnO是電阻式金屬氧化物半導體感測器的氣敏材料的典型代表，它們兼有吸附和催化雙重效應，屬於表面控制型，但該類半導體感測器的使用溫度較高，大約200～500℃。為了進一步提高它們的靈敏度，降低工作溫度，通常向母料中添加一些貴金屬（如Ag、Au、Pb等），激活劑及粘接劑Al2O3、SiO2、ZrO2等。例如添加1% ZrO2的ZrO2－SnO2氣體感測器對於１×１０－５的Ｈ２Ｓ氣體靈敏度與未添加ZrO2的元件相比，靈敏度增加約50倍左右；在SnO2中添加Pb能明顯提高響應時間。採用粉末濺射技術製備的表面層摻雜SnO2 /SnO2：Pt雙層膜來檢測CO的濃度，發現可降低工作溫度，在室溫至200℃溫度範圍內均顯示出較高的靈敏度。通過添加不同的添加劑還能改善氣體感測器的選擇性，在ZnO中添加Ag能提高對可燃性氣體的靈敏度，加入V2O5能使其對氟里昂更加敏感，加入Ga2O3能提高對烷烴的靈敏度[]。Fe2O3系也屬於該類氣體感測器，用溶膠凝膠法和化學氣相沉積法合成納米級的Fe2O3對CH4、H2、C2H5OH有很好的敏感性；向Fe2O3中加入少量的SO42－及四價金屬離子如Sn4+由於抑制其晶粒生長而提高靈敏度。近年來採用薄膜技術和集成電路技術把加熱元件、溫度感測器、叉指電極、氣體敏感膜集成在硅寸底上製成了比常規的多晶膜高的多得的氣敏元件，並且結構簡單、製作方便，
可以根據被測氣體選擇不同的敏感膜，使得該類感測器成為很有發展前景的新型半導體氣體感測器。但氣敏元件一般暴露在大氣中且加熱元件的電壓值決定了氣敏元件的工作溫度，因此如何消除濕度和溫度等環境因素對測量的影響還未得到很好的解決。
表1近期開發的一些氣體感測器敏感材料
檢測氣體 敏感材料
CH4 Rh－SnO2、CeO2－SnO2
CO Au/Co3O4、Cu－ZnO2
H2 Sb2O3－SnO2、Bi2O3－SnO2
CO2 La2O3－SnO2、CaO－La2O3、Ag－CuO－BaTiO2、Cu－BaSnO2、
BaCe0.25Y0.05O3-x、Cu－SnTiO3
NH3 Au/WO3、Cr1.8TiO3
C2H5OH Pd－La2O3－SnO2、 Pd－La2O3－In2O3
H2S ZnO－SnO2、CuO－SnO2、Ag－SnO2、Au－WO3
NOX In－TiO2、In2O3、Cd－SnO2、WO3、Ga－ZnO、In，Al－SnO2、Cr2O5－Nb2O5、V/In－SnO2
SO2 LiSO4－CaSO4－SiO2
PH3 ZnO、SnO2、 Sr1-yCayFeO3-x(y=0.05,1)、Fe2O3系
1.1.2非電阻式金屬氧化物半導體氣體感測器
非電阻式金屬氧化物半導體氣體感測器主要包括MOS場效應管型氣體感測器和二極體型氣體感測器等。
氫氣敏Pd柵MOSEFT是最早研製成的催化金屬柵場效應氣體感測器，當氫氣與Pd發生作用時，場效應管的閾值電壓將隨氫氣濃度而變化，以此來檢測氫氣。這種結構的氣體感測器對氫氣的靈敏度可達ppm級，而且選擇性非常好，但長期穩定性問題目前尚未得到很好解決。此外Pd柵MOSFET場效應管型氣體感測器還可以檢測一些易分解出氫氣的氣體，如NH3、H2S等[]。採用YSZ作MOS場效應晶體管的柵極，Pt作金屬柵可製成氧氣敏場效應管型氣體感測器[]。A.Fuchs等人用帶有KI敏感膜的場效應管氣體感測器可以很好的實現O3的檢測，在20～80ppb濃度範圍內有很好的解析度[]。將MOSFET的金屬柵去掉,採用La0.7Sr0.3FeO3納米薄膜作柵製作了微米尺寸、室溫工作的OSFET式氣體感測器成功實現了對乙醇氣體的檢測。
晶體管型氣體感測器的原理是吸附在金屬與半導體界面間的氣體使得半導體禁帶寬度或金屬的功函數發生變化，通過半導體整流特性的變化來判斷其濃度的大小。在摻錮的硫
化鎘上蒸發一薄層鈀構成鈀/硫化鎘二極體感測器,可以用來檢測氫氣。此外鈀/氧化鈦、鈀/氧化鋅、鉑/氧化鈦也可製成二極體敏感元件用於氫氣檢測[]。
1.2有機半導體氣體感測器
有機半導體材料由於其易操作性、工藝簡單、常溫選擇性好、價格低廉,易與微結構感測器相結合, 並且可以根據功能需要進行分子設計和合成等諸多優點越來越受到國內外研究人員的重視。
酞菁類聚合物是有機半導體敏感材料的代表，它們所具有的環狀結構使得吸附氣體分子與有機半導體之間產生電子授受關係。不同的酞菁聚合物可選擇如真空升華技術、LB膜技術、旋塗技術和自組織膜技術等制膜技術在檢測器件上製得薄膜型氣敏元件，還可製得感測器陣列，使其與計算機模式識別技術結合使用。謝丹等人在MOSFET基礎上,根據電荷流動電容器原理,以三明治型稀土金屬元素鏷雙酞菁配合物Pr[Pc(OC8H17)8]2為氣敏材料，取代中間柵極中的間隙位置，利用LB超分子薄膜技術，將Pr[Pc(OC8H17)8]2與十八烷醇（OA）以1：3的比例混合而成的LB多層膜拉制在電荷流動場效應管（CFT）上，形成一種新型的具有CFT結構的LB膜NO2氣體感測器，室溫下檢測NO2靈敏度可達5ppm[]。此外，聚吡咯、蒽、二萘嵌苯、β―胡蘿蔔素等[]近年來也被用作有機半導體氣敏材料受到人們關注。
2 固體電解質氣體感測器
固體電解質指的是依靠離子或質子來實現傳導的一類固態物質。固體電解質氣體感測器的原理是敏感材料在一定氣氛中會產生離子，離子的遷移和傳導形成電勢差，根據電勢差來實現氣體濃度大小的測定。由於這種感測器在一定溫度下電導率高、靈敏度和選擇性好，所以在冶金石化、能源環保和宇航交通等各領域均得到了廣泛的應用。
ZrO2氧感測器是最具有代表性的固體電解質氣體感測器。通常用 CaO、MgO、Y2O3穩定的ZrO2做氧離子導體，靈敏度非常高，1000℃ZrO2（CaO）感測器的測量下限為10―13Pa氧，響應快，可實現跟蹤連續檢測[]。該類感測器的特點是氣敏材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質中的移動離子相同，原理簡單。
目前固體電解質氣體感測器研究的熱點主要集中下面兩類：一類是氣敏材料吸附待測氣體派生的離子與電解質中的移動離子不相同的感測器；另一類是氣敏材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質中移動離子以及材料中的固定離子都不相同的感測器。這兩類原理相對複雜，有些原理至今仍未得到合理解釋。將用溶膠凝膠法合成的NASICON與BaCO3―LiCO3輔助相複合電極做成小型CO2固體電解質氣體感測器，發現該器件對CO2表現出良好的線性敏感特性、快速的響應恢復和較強的抗干擾能力[]；以NASICON為固體電解質，採用NaNO2為輔助電極構成的感測器，發現對NO2和NO的敏感性遠優於NaNO2[]；從K2SO4、Na2SO4、Li2SO4、AgSO4到NaSiCON、Na-β(β)-Al2O3、Ag-β-Al2O3都被用做SO2氣體感測器[]；固體電解質NH -CaCO3、YST-Au-WO3分別被用做NH3與H2S氣體感測器[]； 本實驗室採用單晶、多晶、LaF3(CaF2)製成H2O、H2、SO2固體電解質感測器，發現靈敏度和選擇性都較高[]。有機固體電解質以易成膜，彈性好，質輕，易形成大面積，且製備簡單和原料易得等優點也引起眾多研究者的興趣。常見的有機固體電解質包括聚乙烯氧化物（PEO）、磷酸氫鈾醯、Nafion高分子等[]，它們常被用做H2和水蒸氣固體電解質感測器的氫離子導體（質子導電）。有機凝膠電解質感測器已用於檢測空氣中的H2S、PH3等有害氣體。
3 接觸燃燒式氣體感測器
接觸燃燒式氣體感測器的工作原理是：氣敏材料在通電狀態下，溫度約在300～600℃，當可燃性氣體氧化燃燒或在催化劑作用下氧化燃燒，燃燒熱進一步使電熱絲升溫，從而使其電阻值發生變化，測量電阻變化從而測量氣體濃度[]。該種氣體感測器的優點是對氣體選擇性好，受溫度和濕度影響小，響應快，已經被廣泛應用在石油化工廠、礦井、浴室和廚房等處。目前實用化的接觸燃燒式氣體感測器有規模生產的H2、LPG、CH4檢測用產品,其次是碳化氫與有機溶劑蒸氣檢測用產品[]。但它們對低濃度可燃性氣體靈敏度低，敏感元件受催化劑侵害較嚴重。
4 光學式氣體感測器
光學式氣體感測器主要以光譜吸收型為主。它的原理是：不同的氣體物質由於其分子結構不同、濃度不同和能量分佈的差異而有各自不同的吸收光譜。這就決定了光譜吸收型氣體感測器的選擇性、鑒別性和氣體濃度的唯一確定性。若能測出這種光譜便可對氣體進行定性、定量分析。目前已經開發了流體切換式、流程直接測量式等多種在線紅外吸收式氣體感測器。在汽車的尾氣中，CO、CO2和烴類物質的濃度，以及工業燃燒鍋爐中的有害氣體SO2、NO2都可採用光譜吸收型氣體感測器來檢測。
光學式氣體感測器還包括熒光型、光纖化學材料型等類型。氣體分子受激發光照射后處於激發態，在返回基態的過程中發出熒光。由於熒光強度與待測氣體的濃度成線性關係，熒光型氣體感測器通過測試熒光強度便可測出氣體的濃度。光纖化學材料型氣體感測器是指在光纖的表面或端面塗一層特殊的化學材料，而該材料與一種或幾種氣體接觸時，引起光纖的耦合度、反射係數、有效折射率等諸多性能參數的變化，這些參數又可以通過強度調製等方法來檢測。例如：塗在光纖上的鈀膜遇H2時候就會膨脹，氣體引起薄膜的膨脹可以通過測量干涉儀的輸出光的強度來測得。
5 石英諧振式氣體感測器
石英諧振式氣敏元件由石英基片、金電極和支架三部分組成。其電極上塗有一層氣體敏感膜，當被測氣體分子吸附在氣體敏感膜上時，敏感膜的質量增加，從而使石英振子的諧振頻率降低。諧振頻率的變化量與被測氣體的濃度成正比。該感測器結構簡單、靈敏高,但只能使用在室溫下工作的氣體敏感膜。選取聚乙烯亞胺PEI(poly ethylene imine)作敏感膜,發現該感測器對CO2的氣敏特性、選擇性都很好,對體積500×10-6的CO2氣體測試，其響應時間為5s，恢復時間為2s。酞菁類聚合物也常被用來製成石英諧振式氣敏元件。目前已經開發出可測試NH3、SO2、HCl、H2S、醋酸蒸氣的石英諧振式氣體感測器。 6 表面聲波氣體感測器
表面聲波氣體感測器發展的歷史很短，可謂是後起之秀。儘管在實用化方面還存在許多問題，但它符合信號系統數字化、集成化、高精度的方向，因此倍受世界上許多國家的高度重視。表面聲波傳播速度的影響因素很多，例如：環境溫度、壓力、電磁場、氣體性質、固體介質的質量、電導率等。通過選擇合適的敏感膜來控制諸多影響因素中的一個因素起主導作用。當質量起主導作用時，表面聲波的振蕩頻率與氣體敏感膜的密度成正比；當電導率起主導作用時，表面聲波的振蕩頻率與氣體敏感膜的方塊電導率成反比。設計時，通常採用雙通道延遲線結構來實現對環境溫度和壓力變化的補償。目前研究的該類氣體傳
感器大多採用有機膜來做氣敏材料，主要有聚異丁烯、氟聚多元醇等，被用來檢測苯乙烯和甲苯等有機蒸氣；酞菁類聚合物薄膜被用來檢測ＮＯ２、ＮＨ３、ＣＯ、ＳＯ２等氣體。 7 氣體感測器的發展方向
氣體感測器的研究涉及面廣、難度大，屬於多學科交叉的研究內容。要切實提高感測器各方面的性能指標需要多學科、多領域研究工作者的協同合作。氣敏材料的開發和根據不同原理進行感測器結構的合理設計一直受到研究人員的關注。未來氣體感測器的發展也將圍繞這兩方面展開工作。具體表現如下:
氣敏材料的進一步開發一方面尋找新的添加劑對已開發的氣敏材料性能進行進一步提高；另一方面充分利用納米、薄膜等新材料製備技術尋找性能更加優越的氣敏材料。 新型氣體感測器的開發和設計根據氣體與氣敏材料可能產生的不同效應設計出新型氣體感測器。近年來表面聲波氣體感測器、光學式氣體感測器、石英振子式氣體感測器等新型感測器的開發成功進一步開闊了設計者的視野。目前仿生氣體感測器也在研究中。
氣體感測器感測機理的進一步研究新的氣敏材料和新型感測器層出不窮，很有必要在理論上對它們的感測機理進行深度的研究。只有機理明確了，下一步的工作才會少走彎路。 氣體感測器的智能化生產和生活日新月異的發展對氣體感測器提出了更高的要求，氣體感測器智能化是其發展的必由之路。智能氣體感測器將在充分利用微機械與微電子技術、計算機技術、信號處理技術、電路與系統、感測技術、神經網路技術、模糊理論等多學科綜合技術的基礎上得到發展。
仿生氣體感測器的迅速發展 警犬的鼻子就是一種靈敏度和選擇性都非常好的理想氣敏感測器，結合仿生學和感測器技術研究類似狗鼻子的＂電子鼻＂將是氣體感測器發展的重要方向之一。